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公司致力于氟树脂工业与其他特种新材料产业的前沿技术与销售，目前主要经营氟塑料（PTFE/FEP/PFA/ETFE/PVDF等）、色母、氟涂料、PEEK、芳纶、碳纤维、玻璃纤维、功能性化学品及其他特种新材料。
全氟醚橡胶（FFKM）是一种高性能的密封材料，其优异性能使它的应用深入到半导体产品的整个制造体系中，全氟醚密封圈是生产集成电路所需的主要耗材之一。（www.shjinfu.com.cn）
一、全氟醚橡胶的性能特点
全氟醚橡胶主要有四氟乙烯、全氟烷基乙烯基醚为主要单体，与少量带硫化点的第三单体共聚而成，如下图所示，聚合物中所有碳原子上的氢原子全被氟原子所取代，是一种完全不含有C-H键的橡胶。全氟醚橡胶分子结构中的氟含量、全氟化的乙烯基醚的结构和含量及硫化过程中交联键的键能和数量决定了硫化胶料的性能和玻璃化转变温度，因此各品牌的全氟醚橡胶由于其单体的分子结构和组分有所差异，其性能也有一定的区别。
1）物理性能
全氟醚橡胶密度为1.9-2.0g/cm³，物理机械性能与氟橡胶接近，耐高温压缩永久变形性能优于氟橡胶。大分子连上没有氢原子，表现出强的惰性，F原子半径比取代前的H原子大很多，大分子链在排列时呈螺旋状，C-C键基本被F原子组成的外壳所包围，使聚合物具有显著的耐化学药品性。
一些橡胶材料的耐溶剂性
注：
A表示10%以下的溶胀（包括不溶胀），介质对橡胶性能影响不明显；B表示体积溶胀率10~20%，材料的性能受到一定程度的影响，但基本可用，只是产品寿命可能会缩短；C表示材料对该介质的耐受性较差，要根据实际情况分析是否可用；类似于聚四氟乙烯，全氟醚橡胶除某些高氟碳溶剂外，不受任何介质影响，可耐强酸、强碱、有机溶剂、超高温蒸汽、醚类、酮类、酯类、含氮化合物、碳化氢类、醇类、醛类、呋喃、胺基化合物等1600多种化学溶剂的腐蚀。
3）耐高低温
全氟醚橡胶的使用温度一般为260~290℃，可间歇性的用于316℃的高温。由于分子支链上引入了少量的-OF3链节，支链的不规则排列改善了分子的柔顺性，使橡胶的耐低温性提高。一些品牌的全氟醚橡胶Tg达-19℃。
4）耐高温蒸汽性
5）低释放性和析出性
对于在等离子环境中，表现出高洁净低析出的产品特性，可长时间承受等离子体撞击。
全氟醚橡胶于1968年首次被美国杜邦公司研发成功，并在1975年以Kalrez®作为商品名投入商业化应用。目前相关材料企业有杜邦、3M、索尔维、大金氟化工、AGC、霓佳斯、中昊晨光化工研究院、中绿新材料、 成都道弘、 氟乐泰科、温州邦欣源科技、鲁聚化等。
二、全氟醚橡胶的半导体应用
在半导体制造中，弹性体密封垫的可靠性非常关键，停产更换密封垫代价极高，为了避免出现潜在的风险，对密封件的清洁度和纯净度的要求都非常严格，同时密封件必须能够在高真空度及侵蚀性化学气体的压力作用下及高温环境中长期工作。
全氟醚橡胶原材料成本高昂，通常用于其他橡胶无法满足的苛刻密封要求，如半导体制造。全氟醚橡胶耐等离子体腐蚀、气体腐蚀、酸碱腐蚀、高温腐蚀、橡胶密封高洁净度要求，有助于保持密封的完整性，减少维修次数并提高安全性，是半导体制造的最佳密封材料。
全氟密封圈主要半导体应用
全氟醚橡胶密封产品相关企业及经销企业有：上海芯密、东邦化成、日本华尔卡、Greene Tweed、Trelleborg、PPE、Parker、EQUATOR、TRP、MNEE、Applied Seals、fluorosealing(FLS)、AIR WATER MACH、上海劲孚化工（经销）等。由于在半导体制造中，停产更换密封件代价极高，半导体行业的密封件和垫圈需要非同寻常的材料。而全氟醚橡胶的高纯度和对等离子体、热和刺激性化学品的极高耐受性为半导体制造如等离子处理、热处理及湿法工艺等生产装置的密封提供了出色解决方案，可延长密封寿命，减少污染，进而提高晶圆产量，降低生产成本。而全氟醚橡胶唯一的缺点就是价格太高，市场价约3~5万元/kg。
在前面介绍中，我们上海劲孚化工为大家介绍了全氟醚橡胶的性能特点及其在半导体领域的应用，全氟醚橡胶绝大多数被制成密封件，如O型圈、垫圈等产品，应用于泵、机械密封、阀门的阀座、连接密封件等高温、强腐蚀的使用环境下。现在我们就来认识一下全球前五的全氟醚橡胶生产企业。
1. 杜邦DuPont
官网：https://www.dupont.com/
商品名：Kalrez®
美国杜邦公司于1968年首次研发成功全氟醚橡胶，并在1975年以Kalrez®作为商品名投入商业化应用。目前杜邦仍是全球主要的全氟醚橡胶供应商。
2. 大金工业株式会社
官网：https://www.daikin.com/
商品名：DAI-EL
日本大金于1970年上市氟橡胶DAI-EL，产品组合涵盖全系列双酚和过氧化物硫化的共聚物和三元共聚物，包括低温FKM以及全氟橡胶 (FFKM)等。DAI-EL全氟弹性体在热水环境中长期暴露具有出色的耐受性，可用于半导体密封等领域。由原料生产，成型加工到包装，大金工业开发的全氟O型圈DUPRA，由关联公司东邦化成株式会社生产。
3.索尔维
官网：https://www.solvay.com/
商品名：Tecnoflon®
索尔维全氟橡胶Tecnoflon® PFR兼具高纯度、耐化学腐蚀性、优异的机械和密封性能，可用于如腔室、盖、窗、气体入口、配件和唇型密封圈，以及纵切阀、各种晶片传送部件等关键应用。
4. 3M
官网：https://www.3m.com.cn/
商品名：Dyneon™
3M提供各式各样的氟橡胶产品系列，适用于关键的密封和防漏应用。3M™ Dyneon™ 全氟醚橡胶的高纯度和对等离子体、热和刺激性化学品的耐受性为半导体制造或子制造工艺提供出色解决方案。
5.AGC
官网：https://www.agc.com/
商品名：AFLAS®
AGC 于1975 年推出了氟橡胶品牌 AFLAS®。2017年，AGC推出了AFLAS® FFKM系列，是以四氟乙烯（C2F4）和全氟烷基乙烯基醚（C2F3-ORf）为主要成分的全氟橡胶共聚物产品。
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